题名 | Chemical-Mechanical Polishing of interlayer dielectric: A review | 作者 | Ali I, Roy S R, Shinn G | 杂志 | Solid State Technology | 年|卷|期 | 1994 vol.37 no.10 | 页码 | 63页到68页 | 链接 | http://business.highbeam.com/412105/article-1G1-16354014/chemicalmechanical-polishing-interlayer-dielectric |
本帖最后由 燕泥 于 2014-5-8 09:55 编辑
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