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楼主
发表于 2014-5-6 11:08:27 |只看该作者 |倒序浏览
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题名Chemical-Mechanical Polishing of interlayer dielectric: A review
作者Ali I, Roy S R, Shinn G
杂志Solid State Technology
年|卷|期1994 vol.37 no.10
页码63页到68页
链接http://business.highbeam.com/412105/article-1G1-16354014/chemicalmechanical-polishing-interlayer-dielectric

本帖最后由 燕泥 于 2014-5-8 09:55 编辑

大家帮帮忙呀,有条件的帮文献速递一下

最佳答案

rbp123 查看完整内容

https://www.mediafire.com/file/7i7d4572t5mi03b/Download_Document.pdf/file

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发表于 2014-5-6 11:08:28 |只看该作者
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发表于 2014-5-6 11:28:47 |只看该作者
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