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[成功] Chemical-Mechanical Polishing of interlayer dielectric: A review

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楼主

发表于 2014-5-6 11:08:27 |只看该作者 |倒序浏览

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题名	Chemical-Mechanical Polishing of interlayer dielectric: A review
作者	Ali I, Roy S R, Shinn G
杂志	Solid State Technology
年\|卷\|期	1994 vol.37 no.10
页码	63页到68页
链接	http://business.highbeam.com/412105/article-1G1-16354014/chemicalmechanical-polishing-interlayer-dielectric

本帖最后由燕泥于 2014-5-8 09:55 编辑

大家帮帮忙呀，有条件的帮文献速递一下

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rbp123 查看完整内容

https://www.mediafire.com/file/7i7d4572t5mi03b/Download_Document.pdf/file

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发表于 2014-5-6 11:08:28 |只看该作者

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发表于 2014-5-6 11:08:35 |只看该作者

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发表于 2014-5-6 11:09:12 |只看该作者

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