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标题: Chemical-Mechanical Polishing of interlayer dielectric: A review [打印本页]

作者: 燕泥 时间: 2014-5-6 11:08
标题: Chemical-Mechanical Polishing of interlayer dielectric: A review

题名	Chemical-Mechanical Polishing of interlayer dielectric: A review
作者	Ali I, Roy S R, Shinn G
杂志	Solid State Technology
年\|卷\|期	1994 vol.37 no.10
页码	63页到68页
链接	http://business.highbeam.com/412105/article-1G1-16354014/chemicalmechanical-polishing-interlayer-dielectric

本帖最后由燕泥于 2014-5-8 09:55 编辑

大家帮帮忙呀，有条件的帮文献速递一下

作者: rbp123 时间: 2014-5-6 11:08
https://www.mediafire.com/file/7 ... d_Document.pdf/file

作者: pnas2009 时间: 2014-5-6 11:08
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作者: pnas2009 时间: 2014-5-6 11:09
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作者: 咸鱼 时间: 2014-5-6 11:28
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